吉致電子--半導體CMP無蠟吸附墊
吉致電子無蠟吸附墊具有獨特的孔隙結構,其吸附性能表現為真空狀態吸附住被拋光物件,其復合結構與感壓膠設計在高的壓縮率及壓縮回彈率,分別適合CMP中高壓研磨制程,提供了優異平坦化、不易沾黏、易清潔、下片容易、耐酸堿、高壽命等特性。
此外,無蠟吸附墊、芯片吸附墊、硅片吸附墊的孔隙結構還賦予其出色的透氣性和滲透性,確保了cmp拋光過程中熱量的有效散發,避免工件因過熱而受損。感壓膠的靈活設計不僅提升了產品的適應性,使其能在各種復雜表面實現穩定吸附,還保證了在長時間使用下的性能穩定,減少了維護成本。
同時,無蠟吸附墊卓越的耐磨損性能確保了在高強度的CMP研磨作業中,產品依然能夠保持優異的吸附效果和使用壽命,大大提升了生產效率和產品質量。無蠟吸附墊還具備環保特性,不含有害物質,對環境友好,符合現代工業的綠色生產要求。廣泛應用于硅晶圓、半導體襯底、TFT、STN、面板顯示器、光學玻璃等工件的精密拋光加工。
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