液壓系統的動力元件，是靠發動機或電動機驅動，從液壓油箱中吸入油液，形成壓力油排出，送到執行元件的一種元件。液壓泵按結構分為齒輪泵、柱塞泵、葉片泵和螺桿泵，液壓泵配套配件：配油盤、回程盤、變量頭、傳動軸、柱塞滑靴等。

  這些液壓鑄件需要經過CMP工藝，利用拋光墊和拋光液的磨拋使液壓金屬表面平坦、光滑、消除毛刺和切割線。減少元件組合后的磨損，降低噪音，增強密封性和使用壽命。

  回程盤材質一般是不銹鋼或硬質合金，吉致電子專用拋光液，針對性解決回程盤的快速拋磨和毛刺去除，提高工件的加工速率，達到良好的拋磨效果。

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