目前，藍寶石基片是LED工業的首選襯底，藍寶石表面的質量對LED器件的質量和性能有著非常重要的影響。因此，在生產藍寶石基片時，對后一道工序拋光加工工序有很高的要求，要求藍寶石基片的表面光滑、無缺陷，這也是藍寶石襯底重要的制程。但是，由于藍寶石晶體材料硬度高，脆性大，屬于典型的難加工材料之一。因此，如何讓拋光加工滿足日益增長的嚴格要求長期以來備受關注。如今的化學機械拋光是一可實現全局平坦化的拋光方法，而且它的成本相對較低，也是迄今為止可以在藍寶石生產中大規模應用的拋光方法。硅溶膠為納米的二氧化硅顆粒，在水中或溶劑中的分散液，屬于膠體溶液，由于它價格實惠，分散穩定性性較好，因此廣泛應用于集成電路化學機械拋光液中。

由于科學技術的進步，人們在藍寶石拋光液的研究方面取得了較大進展，硅溶膠拋光液在更廣泛的領域內得到應用，美國新澤西州立大學研究了水相介質對藍寶石拋光的重要性，提出了在以氧化鋁為磨料的拋光液中，藍寶石表面會形成一層硬度較小、易于去除的水化層，從而加快去除速率，保證了表面質量。

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『拋光皮』

拋光皮種類：阻尼布拋光皮，聚氨酯拋光皮，白磨皮拋光皮 

『拋光液』

拋光液種類：氧化硅拋光液，氧化鋁拋光液，金剛石拋光液 

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