CMP拋光液---復合磨料拋光液
復合磨料拋光液
CMP拋光液產品除了混合磨料外,也有利用各種新興材料制備復合磨料,常用的方法有納米粒子包覆和摻雜等。如通過結構修飾改善納米粒子的分散性、復合其他類型材料提升在酸、堿性拋光液中的綜合性能等。
復合磨料拋光液相比混合磨料和單一磨料,在材料去除率及表面粗糙度方面均有明顯的優勢,能實現納米級或亞納米級超低損傷的表面形貌,主要適用制備成半導體拋光液。但復合磨料的制備工藝相對比較復雜,目前僅處于實驗室探索階段,距離復合磨料在大規模生產上的應用還有較遠的距離。
吉致電子科技25年拋光液生產廠家,設立CMP耗材研發中心擁有多項拋光液發明專利,與國際化學機械拋光行業保持同步,研發生產性價比更好的拋光液產品,適用于金屬行業、半導體行業、陶瓷行業、光電行業等,關注吉致動態,為您解決工件拋光難題!
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